1.平流器攔截

含有油霧、油煙、水汽、粉塵等混合氣體由入口快速進入被平流截油器攔截，其端面有數量眾多的類似水平放置的漏斗結構疊合組成，每個張開的斗口迎接迎面而來的混合氣體，每個獨立的斗口至斗尾都是由大到小的氣流通道結構，因此通過的氣流瞬間被壓縮，氣流中的細小液體顆粒急速凝聚成較大油滴，由斗尾排出到疊合的凹槽中并與其他斗尾液體匯合，沿垂直方向向下流出，被壓縮的氣體由斗尾排出后改變流向通過數次繞行后排出截油器。

2.過濾單元

通過平流器攔截后的油霧被分成數股由過濾單元過濾，除去大部分霧狀物。

3.離心沉流分離器

排出的氣體再次匯合成束狀進入高速旋轉的葉輪內，葉輪內的氣體被再次壓縮且沿葉片徑向產生加速度，形成高速離心力，因氣、液、固體的比值不同，受離心力作用的氣體中，一些細小油霧顆粒以及更細微的氣溶膠粒子沿葉徑方向被甩向沉流分離器，沉流分離器含有隔腔，油液粒子進入隔腔內難以再次流出與氣流混合，且凝聚向下沉降，氣體則沿葉輪水平方向向后推進，氣液被再次分離。

4.濾芯過濾

處理后的油霧氣體所含油霧比值降至更低值，再經由濾芯處理以后，于終端排出潔凈的氣體。

油霧凈化器在機床上的工作原理很重要，只有了解了機床油霧收集器工作原理，才能選擇最佳的油霧凈化器，油霧機不是每臺機床都能通用的。